经过专家组对报来的11个项目的评议，项目排序情况如下：
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申请人
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项目名称
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排序情况
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李炜（高能物理研究所）
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共聚焦快速实时成像系统搭载膜片钳设备改造方案
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1
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敖卓（国家纳米科学中心）
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环扫电镜平台下的生物近场光谱检测系统研制
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2
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向俊锋（化学研究所）
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低频核磁活性核的动态核磁结构研究方法开发
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3
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王辉（理化技术研究所）
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电感耦合等离子体发射光谱仪进样系统的研制
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4
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樊中朝（半导体物理研究所）
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ICP-RIE刻蚀设备改造
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5
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夏晓翔（物理研究所）
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感应耦合等离子体刻蚀系统的低温纳米深刻蚀功能开发
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6
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王东亮（国家纳米科学中心）
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活细胞动态荧光成像和形态实时检测系统升级改造
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7
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刘宇（微电子研究所）
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新型衍射光学元件衍射特性检测平台
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8
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翟永辉（电工研究所）
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太阳电池I-V特性测试系统开发
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9
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胡媛（微电子研究所）
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接触式光学光刻机的预处理工艺系统
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10
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李建国（电工研究所）
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JBX 6AII 可变矩形电子束曝光机软件功能开发
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11
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北京纳米科学大型仪器区域中心管理办公室
2011-10-19
