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仪器名称 |
仪器型号 |
所在单位 |
详细 |
预约 |
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C-V测试仪（8寸）（十室A） |
WT-2000 |
微电子所 |
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ICP电感耦合等离子体刻蚀系统 |
NE550-H |
微电子所 |
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ICP-电感耦合等离子体刻蚀系统-Sentech（四室） |
SI500 |
微电子所 |
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ICP刻蚀机（八室） |
KE-320 |
微电子所 |
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I-V测试仪（8寸）（十室A） |
Agilent4156 |
微电子所 |
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JBS5000LS电子束曝光系统（纳米区域中心）（三室A） |
JBX-5000LS |
微电子所 |
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JBX6300FS电子束曝光系统(纳米区域中心)（三室A） |
JBX-6300FS |
微电子所 |
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X射线衍射仪（八室） |
Smart lab |
微电子所 |
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半导体参数测试仪4200（一室A） |
SCS4200 |
微电子所 |
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半导体功率器件动态测试系统（一室A） |
3430-SW |
微电子所 |
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半导体功率器件静态测试系统（一室A） |
Tesec-3620 |
微电子所 |
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半导体功率器件热阻测试系统（一室） |
Tesec-9424 |
微电子所 |
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半导体功率器件栅电荷测试系统（一室A） |
ITC-59100 |
微电子所 |
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半导体特性测试仪（一室） |
SCS4200 |
微电子所 |
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半自动平行曝光机（九室A） |
Altix CA5 |
微电子所 |
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磁控溅射台（八室） |
SP-3 |
微电子所 |
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导电扫描探针显微镜系统AFM（8寸） （十室A） |
Dimension ICON |
微电子所 |
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等离子体浸没式离子注入机（八室） |
PIII-100 |
微电子所 |
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电感电容电阻表（九室A） |
4294A |
微电子所 |
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电化学分析仪（8寸）（十室A） |
Zennium |
微电子所 |
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电流电压测试仪(8寸)（十室A） |
4200 |
微电子所 |
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电路在片测试系统（四室） |
SUMMIT 9000 |
微电子所 |
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电子束曝光机（8寸）（十室A） |
NB5 |
微电子所 |
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电子束曝光系统(纳米区域中心)（三室A） |
MEBES 4700S |
微电子所 |
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读数显微镜（九室A） |
L200ND |
微电子所 |
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镀铜线（九室A） |
定制 |
微电子所 |
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多功能拉力、剪切力测试系统（九室A） |
Royce System 650 |
微电子所 |
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分步重复精缩机(纳米区域中心)（三室A） |
GCA 3696 |
微电子所 |
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傅立叶红外光谱仪（八室A） |
VERTEX 70V |
微电子所 |
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高低温半自动探针台（一室A） |
PA300IS |
微电子所 |
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高低温探针台(CASCADE12000)[四室] |
CASCADE12000 |
微电子所 |
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高分辨率扫描电子显微镜S4800（8寸）（十室A） |
S-4800 |
微电子所 |
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高分辨率扫描电子显微镜S5500（8寸）（十室A） |
S5500 |
微电子所 |
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高密度等离子体刻蚀机(纳米区域中心)（三室A） |
Corial 200IL |
微电子所 |
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高速老化箱（九室） |
PC-422R8 |
微电子所 |
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高性能示波器（六室A） |
DSAX91604A |
微电子所 |
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光学光刻机(纳米区域中心)（三室A） |
MA6 |
微电子所 |
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光学轮廓仪（8寸）（十室A） |
NT9100M |
微电子所 |
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光学轮廓仪（八室A） |
MICRO XAM1200 |
微电子所 |
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光学三维表面轮廓仪 |
Wyko NT9100 |
微电子所 |
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光学图形发生器（纳米区域中心） |
GCA 3600F |
微电子所 |
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硅片清洗机（八室） |
CXS-2200B |
微电子所 |
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氦气氟油加压检漏装置（一室A） |
HF-4 |
微电子所 |
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化铜线（九室A） |
安美特定制 |
微电子所 |
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霍尔效应测试仪（八室） |
Hall 8800 |
微电子所 |
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激光共聚焦显微镜（8寸）（十室A） |
OLS3100-LSM(S) |
微电子所 |
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激光共聚焦显微镜（八室A） |
LEXTOSL 4000 |
微电子所 |
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激光刻号机（8寸）（十室A） |
KH |
微电子所 |
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精密视觉对位网版有机材料印刷机 |
WY-216 |
微电子所 |
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快速退火炉（八室A） |
AW810M |
微电子所 |
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离子束溅射与刻蚀系统 |
非标 |
微电子所 |
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逻辑信号分析仪（九室A） |
16902B |
微电子所 |
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频谱分析仪（二室A） |
PXA N9030A |
微电子所 |
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迁移率测试系统（8寸）（十室A） |
TPS-Hall7600 |
微电子所 |
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矢量网络分析仪（九室A） |
PNA－X N5244A |
微电子所 |
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矢量网络分析仪（六室A） |
Agilent N5230A |
微电子所 |
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矢量网络分析仪（十一室Ａ） |
8720ES |
微电子所 |
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数控双脉冲电镀仪（四室A） |
SMT-10 |
微电子所 |
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数字荧光示波器 （一室） |
DSA71254B |
微电子所 |
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双腔室电子束蒸发镀膜系统 |
DENTON Explorer 14 改进型 |
微电子所 |
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四探针电阻测试仪（八室A） |
CRESBOX |
微电子所 |
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台阶仪（8寸）（十室A） |
Dektak 150 |
微电子所 |
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台阶仪（八室A） |
P-6 |
微电子所 |
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台阶仪(纳米区域中心)（三室A） |
Veeco Dektak 150 |
微电子所 |
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太阳能电池IV测试仪（八室） |
SOL3A |
微电子所 |
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探针台（一室） |
PW-800 |
微电子所 |
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同步热分析仪（八室A） |
STA449F3 |
微电子所 |
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涂胶显影机（8寸）（ 十室A） |
KS-C200-4SPIN |
微电子所 |
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椭偏仪（8寸）（十室A） |
SOPRALAB GES5 |
微电子所 |
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椭偏仪（八室A） |
UVISEL 2 |
微电子所 |
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微动探针台（8寸）（十室A） |
PA300-14PS |
微电子所 |
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微探针台(模块、PCB) （九室A） |
SUMMIT 11000 B-S |
微电子所 |
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显微镜（八室） |
MX61 |
微电子所 |
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相位调制型椭圆偏振光谱仪（纳米区域中心）（三室A） |
Uvisel FUV |
微电子所 |
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信号分析仪（六室A） |
N9030A |
微电子所 |
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旋转冲洗甩干机（八室） |
CXS-2200B |
微电子所 |
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雪崩能量测试系统（一室） |
Tesec-3702 |
微电子所 |
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引线键合机（九室A） |
Palomar 8000 |
微电子所 |
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应力测试仪（8寸）（十室A） |
FLX-2320S |
微电子所 |
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原子层沉积系统（纳米区域中心）（三室A） |
TFS200 |
微电子所 |
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原子力显微镜（八室A） |
D3100 |
微电子所 |
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紫外光刻机（八室） |
URE-2000A |
微电子所 |
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