物理所仪器

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PPMS多功能物性测量系统

PPMS

物理所

表面形貌仪

Dektak 8

物理所

超声引线键合仪

5430

物理所

等离子体增强化学气相沉积系统

System 100 PECVD

物理所

电学测量探针台

Keithley 4200-SCSF

物理所

电子束曝光系统

Raith150

物理所

电子束蒸发系统

Peva-600E

物理所

反应离子刻蚀系统

PlasmaLab 80 Plus

物理所

感应耦合等离子体刻蚀系统

Plasmalab System 100 ICP180

物理所

高真空离子束辅助三靶磁控溅射系统

FJX500

物理所

光谱椭偏仪

GES5E

物理所

近场光学显微镜

attoSNOM III定制

物理所

近红外-可见光光学测试系统

Omni-500

物理所

聚焦离子束系统

Strata DB 235

物理所

快速退火炉

AccuThermo AW410

物理所

离子束刻蚀系统

LKJ-3D-150

物理所

纳米压印系统

Eitre 3

物理所

热蒸发真空镀膜机

DM-300B

物理所

扫描探针显微镜

SPA-400

物理所

双探针扫描电子显微镜

KYKY 1000B

物理所

微波等离子体去胶系统

PS210

物理所

亚微米紫外光刻掩模对准系统

MA6

物理所

原子层沉积系统

Savannah-100

物理所

真空镀膜机

RZF400

物理所