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国家纳米科学中心热场发射扫描电镜

NOVA NanoSEM430扫描电镜

1.       设备外型:

 

 

2. 主要功能:

Nova NanoSEM 430型号扫描电镜是一款具备超高分辨率的热场发射扫描电镜,主要用于获得纳米尺寸级别的样品表面形貌信息,可在高真空下实现高压和低压的超高分辨率形貌检测。配备两种物镜模式(浸没式和无场式)。配备红外CCD检测相机,极靴内二次电子检测器,通用ET二次电子检测器,低真空二次电子检测器,极靴内背散射电子检测器,高真空背散射电子探测器,高衬度背散射电子探测器,低真空Helix二次电子探测器。配置电子束减速模式。最大100*100mm样品移动距离。具备优秀的样品位置导航系统。可在低真空下测量未喷镀的导电样品形貌信息,也可在低真空下获得非导电样品的超高分辨率信息。

 

3. 技术参数:

a. 抽真空时间:至3.0e-2Pa150s,至130Pa270s

b. 腔体极限真空≤6e-4Pa,下IGP真空≤5e-5Pa,上IGP真空≤5e-7Pa

c. UHR模式下在15kV下像散≤15um1kV下像散≤40um

d. 15kV下分辨率≤1.0nm1kV下分辨率≤1.6nm

e. X-Max80型号能谱仪分析元素范围:Be4-U9280mm2 活区窗口,分辨率优于129eV (MnKα处,计数率为40000cps)

 

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