NOVA NanoSEM430扫描电镜
1. 设备外型：
2. 主要功能：
Nova™ NanoSEM 430型号扫描电镜是一款具备超高分辨率的热场发射扫描电镜，主要用于获得纳米尺寸级别的样品表面形貌信息，可在高真空下实现高压和低压的超高分辨率形貌检测。配备两种物镜模式（浸没式和无场式）。配备红外CCD检测相机，极靴内二次电子检测器，通用ET二次电子检测器，低真空二次电子检测器，极靴内背散射电子检测器，高真空背散射电子探测器，高衬度背散射电子探测器，低真空Helix二次电子探测器。配置电子束减速模式。最大100*100mm样品移动距离。具备优秀的样品位置导航系统。可在低真空下测量未喷镀的导电样品形貌信息，也可在低真空下获得非导电样品的超高分辨率信息。
3. 技术参数：
a. 抽真空时间：至3.0e-2Pa≤150s，至130Pa≤270s。
b. 腔体极限真空≤6e-4Pa，下IGP真空≤5e-5Pa，上IGP真空≤5e-7Pa。
c. UHR模式下在15kV下像散≤15um，1kV下像散≤40um。
d. 15kV下分辨率≤1.0nm，1kV下分辨率≤1.6nm。
e. X-Max80型号能谱仪分析元素范围：Be4-U92，80mm2 活区窗口，分辨率优于129eV (MnKα处,计数率为40000cps)。
