型号：SE 850 DUV
1. 设备外型：
2. 主要功能：
SE 850 DUV是一台高性能配置的光谱椭偏仪，可在紫外至近红外光谱波段快速获得薄膜光学常数（薄膜厚度和折射率及消光系数等）测量结果。傅里叶变换红外光谱不仅增加了测量速度，分辨率和高信噪比，也提供自动波长校准功能。SE 850 DUV可实现快速和全光谱分辨率测量。
3. 技术参数：
（1）光谱范围：190 –2500 nm。
（2）光谱分辨率：DUV-VIS波段优于0.8 nm，NIR波段：32 cm-1 – 1 cm-1 。
（3）样品尺寸：6英寸。
（4）最大样品厚度：7 mm。
（5）基片形态：：透明或不透明。
（6）测量时间：DUV-VIS波段最少5 s，NIR波段最少30 s，通常是120 s。
（7）光斑尺寸：直径0.1 mm-4 mm可调。
