型号:SE 850 DUV
1. 设备外型:
![](./W020130322569619632729.jpg)
2. 主要功能:
SE 850 DUV是一台高性能配置的光谱椭偏仪,可在紫外至近红外光谱波段快速获得薄膜光学常数(薄膜厚度和折射率及消光系数等)测量结果。傅里叶变换红外光谱不仅增加了测量速度,分辨率和高信噪比,也提供自动波长校准功能。SE 850 DUV可实现快速和全光谱分辨率测量。
3. 技术参数:
(1)光谱范围:190 –2500 nm。
(2)光谱分辨率:DUV-VIS波段优于0.8 nm,NIR波段:32 cm-1 – 1 cm-1 。
(3)样品尺寸:6英寸。
(4)最大样品厚度:7 mm。
(5)基片形态::透明或不透明。
(6)测量时间:DUV-VIS波段最少5 s,NIR波段最少30 s,通常是120 s。
(7)光斑尺寸:直径0.1 mm-4 mm可调。