型号：JBX-6300FS
生产厂商：日本电子（JEOL）公司
一. 主要技术指标：
100KV，最小束斑2nm；
最大支持8英寸wafer；
二. 电子枪、离子泵、机械泵、激光器、样品架、循环水箱、不间断电源。
三. 主要功能：
电子束直写光刻，可在硅片、砷化镓片等平整衬底上直接制作微纳米胶图形；广泛应用于微纳加工领域。
