Nova200 NanoLab扫描电镜/聚焦离子束双束系统是北京纳米仪器区域中心购置的大型仪器设备，由国家纳米科学中心负责购置和运行服务。这台由美国FEI公司生产的双束系统实际上是一台高度集成化的纳米工作站。在该仪器上不仅可以实现对各类物质的直接加工，如材料刻蚀、金属Pt沉积、非金属SiO2沉积，以形成各种微纳米级结构，还可以实现对加工过程进行观察和结果表征。该设备上还配备了一套Omniprobe操纵手，可实现TEM样品制备。同时还集成了一套德国Raith公司图形发生器，实现电子束曝光工艺。
除了具备先进的硬件组成外，该仪器还配备了几款针对性强的应用软件，如用于三维重构技术的Auto Slice & View 软件及Amira软件、对同一样品不同位置进行TEM样品制备的AutoFIB软件。
作为国家级公共技术平台设备，该系统自2008年起面向中心内外开放。用户覆盖高等院校、科研院所及企业单位，如北京大学、清华大学、浙江大学、哈尔滨工程大学、中科院微电子所、中科院微系统所等。产生了一系列高质量成果，如：
应用案例1 为中科院微电子所制备的TEM样品
制作的TEM样品随后被送入TEM中进行导电细丝的实时观察。该文章被选为封面文章。
应用案例2 在PDMS进行直接加工
克服双束系统在典型绝缘体材料时的问题，借助AFM对加工过程进行了表征。结果发表在Nanotechnology 20 (2009) 145301
应用案例3 利用电子束曝光工艺在纳米材料上制作测量电极
在随机分散的石墨烯片上采用电子束曝光工艺制作了四电极，用于电学输运性能的测量。发表在美国ACS Nano, 2011, 5 (10), pp 7945–7949
